服务电话：
新闻中心
您当前的位置：首页 > 新闻中心
-
10
2025-08
星期
-
无锡赛瑞达管式炉 烧结炉 赛瑞达智能电子装备供应
碳化硅（SiC）和氮化镓（GaN）等宽禁带半导体的外延生长依赖高温管式炉。以SiC外延为例，需在1500°C–1600°C下通入硅源（如SiH₄）和碳源（如C₃H₈），管式炉的石墨加热器与碳化硅涂层石英管可耐受极端环境。关键挑战在
-
09
2025-08
星期 六
-
无锡8英寸管式炉LPCVD 赛瑞达智能电子装备供应
管式炉的工艺监控依赖多维度传感器数据：①温度监控采用S型热电偶（精度±0.5℃），配合PID算法实现温度稳定性±0.1℃；②气体流量监控使用质量流量计（MFC，精度±1%），并通过压力传感器（精度±0.1%）实时校正；③晶圆状态监
-
09
2025-08
星期 六
-
无锡一体化管式炉 烧结炉 赛瑞达智能电子装备供应
在太阳能电池的关键工艺——掺杂工艺中，管式炉能够提供精确的高温环境，使杂质原子均匀地扩散到硅片内部，形成P-N结，这对于太阳能电池的光电转换效率起着决定性作用。此外，在制备太阳能电池的减反射膜和钝化层等关键薄膜材料时，管式炉可通过
-
09
2025-08
星期 六
-
无锡8吋管式炉怎么收费 赛瑞达智能电子装备供应
精确控温对于半导体管式炉的性能至关重要。以某品牌管式炉为例，其搭载智能PID温控系统，温度波动低可小于0.5摄氏度，在氧化工艺中，能将氧化膜厚度误差控制在小于2%，确保每一片晶圆都能获得高度一致且精确的热处理，满足半导体制造对工艺
-
09
2025-08
星期 六
-
无锡6英寸管式炉PSG/BPSG工艺 赛瑞达智能电子装备供应
半导体制造过程中，为了保证工艺的准确性和稳定性，需要对相关材料和工艺参数进行精确校准和测试，管式炉在其中发挥着重要作用。比如在热电偶校准工作中，管式炉能够提供稳定且精确可控的温度环境。将待校准的热电偶置于管式炉内，通过与高精度的标
推荐资讯