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2025-05
星期 四
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无锡立式炉非掺杂POLY工艺 赛瑞达智能电子装备供应
在新能源材料制备领域,立式炉发挥着不可替代的作用。在锂电池材料生产中,用于对正极材料、负极材料进行烧结处理。精确控制温度和气氛,使材料的晶体结构和性能达到理想状态,提高电池的能量密度和循环寿命。在太阳能光伏材料制备中,立式炉用于硅
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22
2025-05
星期 四
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无锡立式炉氧化退火炉 赛瑞达智能电子装备供应
立式炉主要适用于6"、8"、12"晶圆的氧化、合金、退火等工艺。氧化是在中高温下通入特定气体(O2/H2/DCE),在硅片表面发生氧化反应,生成二氧化硅薄膜的一种工艺。生成的二氧化硅薄膜可以作为集成电路器件前道的缓冲介质层和栅氧化
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2025-05
星期 三
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无锡赛瑞达立式炉 赛瑞达智能电子装备供应
立式氧化炉:主要用于在中高温下,使通入的特定气体(如O₂、H₂、DCE等)与硅片表面发生氧化反应,生成二氧化硅薄膜,应用于28nm及以上的集成电路、先进封装、功率器件等领域。立式退火炉:在中低温条件下,通入惰性气体(如N₂),消除
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2025-05
星期 三
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无锡卧式炉化学气相沉积 赛瑞达智能电子装备供应
随着环保和节能要求的日益提高,卧式炉在节能技术方面不断创新。采用高效的余热回收系统是关键创新之一,通过热交换器将高温废气中的热量传递给冷空气或待加热物料。例如,将预热后的空气送入燃烧器,能提高燃烧效率,减少燃料消耗;将余热传递给原
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2025-05
星期 三
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无锡国产卧式炉 赛瑞达智能电子装备供应
随着环保和节能要求的日益提高,卧式炉在节能技术方面不断创新。采用高效的余热回收系统是关键创新之一,通过热交换器将高温废气中的热量传递给冷空气或待加热物料。例如,将预热后的空气送入燃烧器,能提高燃烧效率,减少燃料消耗;将余热传递给原